真空等離子清洗機(jī)的真空泵，如果沒(méi)有特殊要求大多可選配旋片式油泵。這種泵的工作原理是利用機(jī)械方法對(duì)真空反應(yīng)腔體進(jìn)行抽氣，當(dāng)抽到能滿足等離子放電的真空度時(shí)，維持工藝氣體的進(jìn)入和等離子反應(yīng)副產(chǎn)物的去除，以保證等離子放電的穩(wěn)定性。真空泵與真空反應(yīng)腔體、真空計(jì)、擋板閥、進(jìn)氣管、法蘭等連接管路構(gòu)成真空等離子清洗機(jī)的真空系統(tǒng)。

真空等離子清洗機(jī)選配旋片式油泵，主要原因是投入成本低，維修方便，尤其適合對(duì)等離子清洗的產(chǎn)品或材料的工作環(huán)境沒(méi)有特殊要求的場(chǎng)所。真空等離子清洗機(jī)的油式真空泵通過(guò)專業(yè)的人員培訓(xùn)，很容易掌握其維護(hù)保養(yǎng)的方法。為方便大家了解相關(guān)知識(shí)，今天我們整理出來(lái)供大家參考。
1真空等離子清洗機(jī)的真空泵儲(chǔ)油箱拆解
①拆解真空泵油箱前先將真空泵油放出，用內(nèi)六角扳手將放油口螺絲擰下，將真空泵內(nèi)的真空油排盡；
②用內(nèi)六角扳手將真空泵油箱的緊固螺絲拆除；
③拆解儲(chǔ)油箱時(shí)注意不要損壞儲(chǔ)油箱密封墊。

說(shuō)明：手套、口罩和裝廢油的袋子，是維護(hù)真空泵前三種必備的小東西。不同的行業(yè)和產(chǎn)品，等離子清洗形成的廢氣和真空泵油反應(yīng)會(huì)生成各種臟污，尤其要注意是否有腐蝕性和毒性的氣、液體對(duì)人體造成傷害。

2真空等離子清洗機(jī)的真空泵排氣閥拆解
①排氣閥片護(hù)蓋拆除，折下保護(hù)蓋的堅(jiān)固螺絲，取下保護(hù)蓋，注意不要損壞密封圈；

②排氣閥片壓板拆解除；

③排氣閥片拆解除。

3真空等離子清洗機(jī)的真空泵轉(zhuǎn)子拆解
①將轉(zhuǎn)子的緊固螺絲拆除；
②拆除小旋片蓋板，同時(shí)檢查小旋片磨損情況；
③二級(jí)轉(zhuǎn)子缸室拆解并檢查二級(jí)旋片磨損情況，注意檢查油路是否堵塞。

4真空等離子清洗機(jī)的真空泵止逆閥拆解
①將真空泵進(jìn)氣口的緊固螺絲拆除，取下進(jìn)氣口，注意不要損壞密封圈；
②取下止逆閥的限位卡簧，將止逆閥取出，檢查氣路及油路是否堵塞、檢查止逆閥是否有阻力過(guò)大和損壞現(xiàn)象；如止逆閥卡死，拆除時(shí)注意不要損傷泵體。

5真空等離子清洗機(jī)的真空泵的組裝
真空泵內(nèi)部清潔完成后，按照拆解的反向順序?qū)⒏鹘M件逐一裝回，組裝時(shí)注意檢查，避免部分小組件漏裝，并且保證每一個(gè)工件安裝到位。

注意：等離子清洗機(jī)的真空泵組裝完成后不要忘了注入全新的真空泵油，注意觀察加油的量是否在標(biāo)準(zhǔn)油位。禁止沒(méi)有加入真空泵油讓旋片空轉(zhuǎn)！
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