1.3典型真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)按其工作壓力分類(lèi),可分為:(1)粗真空系統(tǒng)(工作壓力大于1330Pa);(2)低真空系統(tǒng)(工作壓力在1330~0.13Pa);(3)高真空系統(tǒng)(工作壓力在0.13~1.3×10-5Pa);(4)超高真空系統(tǒng)(工作壓力在1.3×10-5~1.3×10-10Pa);（5）極高真空系統(tǒng)（工作壓力低于1.3×10-10Pa）
按真空系統(tǒng)所要求的清潔程度分,有:(1)有油真空系統(tǒng)(真空室有油蒸氣污染);(2)無(wú)油真空系統(tǒng)(真空室無(wú)油蒸氣污染)。
1.3.1粗真空系統(tǒng)
用粗真空泵為主泵(如水蒸氣噴射泵或水環(huán)泵)組成真空系統(tǒng),系統(tǒng)直接在大氣壓下為被抽容器排氣,該系統(tǒng)即為粗真空系統(tǒng),如圖1-14所示。粗真空系統(tǒng)是最簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)。
圖1-14粗真空系統(tǒng)
1—被抽容器;2一真空表;3一連接管路;4一真空閥門(mén);5—粗真空泵
1.3.2低真空系統(tǒng)
用低真空泵為主泵(如油封式機(jī)械泵)組成的真空系統(tǒng)稱(chēng)為低真空系統(tǒng)。通常低真空系統(tǒng)直接在大氣壓下對(duì)被抽容器抽氣。
1.3.3中真空系統(tǒng)
中真空系統(tǒng)一般是由兩個(gè)以上的真空泵串聯(lián)組成的。
(1)油增壓泵串聯(lián)油封機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng),該系統(tǒng)的最佳工作壓力范圍為1.3~1.3×10-1Pa。其優(yōu)點(diǎn)是系統(tǒng)簡(jiǎn)單、抽氣能力大、振動(dòng)小、工作穩(wěn)定可靠、維修方便。缺點(diǎn)是油增壓泵需要預(yù)加熱,預(yù)抽時(shí)間比羅茨泵系統(tǒng)長(zhǎng),系統(tǒng)的油蒸氣污染較大(2)羅茨泵串聯(lián)油封機(jī)械泵的真空系統(tǒng),該系統(tǒng)的工作壓力范圍為1000~1.3Pa。優(yōu)點(diǎn)是抽氣能力大、啟動(dòng)快、預(yù)抽時(shí)間短。缺點(diǎn)是工作時(shí)噪聲較大。圖1-15所示為這種系統(tǒng)的典型配置。
圖1-15離子滲碳及淬火爐的真空系統(tǒng)
1一滲碳室;2一除塵器;3一氣動(dòng)閥;4一羅茨泵;5粗抽閥;6—電磁壓差閥;7—前級(jí)機(jī)械泵;8一維持機(jī)械泵
(3)羅茨泵串聯(lián)小型羅茨泵(中間泵),再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng),系統(tǒng)的工作壓力范圍為0.133~1333Pa。該系統(tǒng)不但具備了羅茨泵系統(tǒng)的特點(diǎn),而且加寬了工作壓力范圍和最佳壓縮比。
(4)羅茨泵串聯(lián)水環(huán)泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)適合用于排出灰塵或水蒸氣較多的設(shè)備上。